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質(zhì)量流量計(jì)
數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)

數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)

簡(jiǎn)要描述:數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)測(cè)流量范圍從0.1ml/min~3000L/min,適用于氧氣、氫氣、氮?dú)?、氦氣、氖氣等干燥氣體應(yīng)用,精度可以達(dá)到0.5-1%,具有小體積、寬量程、安裝便捷等特點(diǎn)。

  • 產(chǎn)品詳情

微小氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器

  數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)工作原理

  數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)主要用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量,密封探頭由兩傳感元件組成--速度傳感器及溫度傳感器,能自動(dòng)校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個(gè)常數(shù)值,然后測(cè)量氣體流量的冷卻效果。通過測(cè)量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計(jì)算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級(jí)鉑金電阻溫度探測(cè)器(RTD)。鉑金RTD絲纏繞在堅(jiān)固的陶瓷芯軸上,整個(gè)傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

  產(chǎn)品特點(diǎn)

  ◆ 預(yù)熱時(shí)間短、零漂小、可靠性高

  ◆ 數(shù)字信號(hào),可使用計(jì)算機(jī)控制和顯示流量計(jì)

  ◆ 質(zhì)量流量計(jì)和質(zhì)量流量計(jì)出廠通常用氮?dú)?N)標(biāo)定

  ◆ 質(zhì)量流量的單位規(guī)定為:SCCM(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分);SLM(標(biāo)準(zhǔn)升/分)

  ◆ 標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 溫度------273.15K(0℃)

                                   氣壓------101325 Pa(760mm Hg)

  ◆F.S(Full Scale):、滿量程值

  產(chǎn)品參數(shù)

微小氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器參數(shù)

  產(chǎn)品尺寸

數(shù)顯型氣體質(zhì)量流量計(jì)


數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器尺寸

快插 小流量氣體質(zhì)量控制器 (2).jpg

  選型參考

1.png

  應(yīng)用行業(yè)

  數(shù)顯型微小氣體質(zhì)量流量計(jì)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量。它們?cè)诎雽?dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場(chǎng)合包括:電子工藝設(shè)備,如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入;以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測(cè)量、氣相色譜儀及其他分析儀器。醫(yī)療設(shè)備、玻璃行業(yè)、真空鍍膜、分析儀器、燃料電池、大氣檢測(cè)、冶金、環(huán)保、制氣配氣、太陽能、發(fā)泡行業(yè)等。


  • 工作原理
  • 產(chǎn)品參數(shù)
  • 選型技巧
  • 使用/安裝/應(yīng)用
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