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問:二氯二氫硅用什么流量計?
解答:二氯二氫硅介質(zhì)可以使用氣體質(zhì)量流量計進行精密測量,二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體??諝庵幸兹?,44℃以上能自燃,燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時會自行分解而生成氯化氫、氯、氫和不定性硅,建議使用氣體質(zhì)量流量計進行精密測量,其特點是具備良好的環(huán)境適應(yīng)性,量程比高達1:100,連接方式簡易,易于安裝和使用,響應(yīng)速度快、集成度高、體積小巧,全量程輸出穩(wěn)定性高、精度高、重復(fù)性好。
氣體質(zhì)量流量計
氣體質(zhì)量流量計的工作原理
氣體自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值,然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器(RTD)。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸
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