微小氣體質量流量計/控制器工作原理

　　微小氣體質量流量計/控制器(Mass Flow Controler 縮寫為 MFC)用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制，密封探頭由兩傳感元件組成--速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級鉑金電阻溫度探測器(RTD)。鉑金RTD絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。

　　產品特點

　　◆ 預熱時間短、零漂小、可靠性高

　　◆ 數(shù)字信號，可使用計算機控制和顯示流量計

　　◆ 質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N)標定

　　◆ 質量流量的單位規(guī)定為:SCCM（標準毫升/分）；SLM（標準升/分）

　　◆ 標準狀態(tài)規(guī)定為： 溫度------273.15K（0℃）

　　氣壓-------101325 Pa(760mm Hg)

　　◆F.S（Full Scale）：、滿量程值

　　產品參數(shù)

　　產品尺寸

模擬型氣體質量流量控制器

數(shù)顯型氣體質量流量控制器

　　選型參考

　　應用行業(yè)

　　微小氣體質量流量計/控制器用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。醫(yī)療設備、玻璃行業(yè)、真空鍍膜、分析儀器、燃料電池、大氣檢測、冶金、環(huán)保、制氣配氣、太陽能、發(fā)泡行業(yè)等。