數(shù)顯微小氣體流量控制器

　　氣體質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有氣體質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。簡單地說,氣體質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機(jī)聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

　　數(shù)顯微小氣體流量控制器產(chǎn)品特點(diǎn)

       數(shù)顯微小氣體流量控制器型號表

型號

介質(zhì)

流量范圍

供電

輸出

顯示

通訊

壓差范圍

壓差范圍

進(jìn)口壓力

溫度

連接

標(biāo)定

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F1

氣體

≤10SCCM

12-24V

0-5v或者4-20mA

LCD

RS485

±1%FS

0.05Mpa-0.3MPa

≤0.3Mpa

5-65℃

6mm卡套接頭

氮?dú)?/td>

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F2

10SCCM---30SLM

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F3

＞30且≤150SLM

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F4

150SLM--250SLM

10mm卡套接頭

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F5

300-1000SLM

12mm卡套接頭

GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F6

1000-2000SLM

GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F7

2000-3000SLM