PRN11由差壓式MEMS壓電傳感器和皮拉尼傳感器集成組成，兩個(gè)傳感器在測量上實(shí)現(xiàn)無縫過渡。它具有集成一體的電子控制線路、數(shù)字通訊系統(tǒng)、模擬電壓輸出和作為工藝控制的兩個(gè)設(shè)定點(diǎn)。  

    連續(xù)真空工藝設(shè)備通常都將真空鎖作為持續(xù)抽空主腔體的界面，當(dāng)真空鎖處于大氣壓時(shí)或高真空時(shí)，需要一個(gè)獨(dú)立的傳動(dòng)器來指示指示閥的開啟方向。PRN11結(jié)合MEMS壓電與皮拉尼各自的優(yōu)點(diǎn)形成一個(gè)集成的，緊湊的組件，即實(shí)現(xiàn)了大氣壓附件高精度、快反應(yīng)、高重復(fù)的壓力測量，又擁有大氣壓到0.001Pa的寬量程，是理想的真空鎖控制壓強(qiáng)傳感器。

   特點(diǎn)

   壓電差壓單元與皮拉尼復(fù)合寬量程。

   內(nèi)置溫度補(bǔ)償，高精度

   雙控制點(diǎn)設(shè)定開關(guān)

   一鍵大氣/真空校準(zhǔn)

   電壓型模擬量輸出

   支持RS485通訊Modbus-RTU協(xié)議

   電接口

   D-SUB 9針（公）插頭