氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標(biāo)準(zhǔn)級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內(nèi)。

 

     Dmass質(zhì)量流量控制器用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、是有工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空燈多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
 

     流量質(zhì)量控制器出廠通常用氮氣(N ₂ )標(biāo)定。如果要求用使用氣體標(biāo)定，需要在訂貨時與銷售人員特別申明。 用氮氣標(biāo)定的流量控制器用戶使用其它氣體時，可以通過附錄的轉(zhuǎn)換系數(shù)進行換算。
 

    使用氣體必須凈化，切忌粉塵、液體和油污。必要時加裝過濾器，如果流量計出口接有液體源瓶，應(yīng)在流量計出口加裝單向閥，防止液體回流損壞流量計。
 

    流量計通道采用的材料為：SUS 316L(00Cr17Ni14Mo2),SUS 417J1（00Cr30Mo2）, 氟橡膠等耐蝕材料。在用戶系統(tǒng)無汽水、低泄露、勤清晰、使用得當(dāng)?shù)臈l件下，可以用于控制一般的腐蝕性其他使用強腐蝕性氣體和有機溶劑氣體時，應(yīng)在定貨時聲明。 使用特殊腐蝕性氣體，所有密封材料都要作相應(yīng)改變。